IME2023特邀报告 - 微波等离子体在半导体行业的应用

演讲嘉宾：朱铧丞 副教授 四川大学电子信息学院

演讲主题：微波等离子体在半导体行业的应用

会议概要：微波等离子体具有电子密度大，活性高，自偏压小等优点，广泛应用于半导体制造中的多个工艺流程，如晶圆清洗、活化、沉积和刻蚀。本演讲报告将重点介绍微波等离子体稳态仿真技术和微波等离子体非线性反射抑制技术，并探索它们在半导体行业的潜力，实现半导体器件的制备和性能提升。此外，我们将通过实际生产中的应用案例，展示这些技术在现实生产中的应用效果和价值。

嘉宾介绍：朱铧丞，近5年主持国家自然科学基金面上项目、青年项目，2021年入选四川大学科技领军人才培育项目，与广州美的、瑞士雀巢等开展横向研发项目11项。在这些项目支持下，发表SCI论文79篇，以第一/独立通讯作者发表SCI论文34篇；受一区杂志主编邀请，在Springer Nature主编章节1章（章节：微波加热的最新仿真技术）。以第一发明人授权中国发明专利21项、美国发明专利1项（以第一发明人专利转化7项）。

时间/地点：8月10日16:00-16:30  论坛区E区，上海世博展览馆二楼3号馆 

快速注册参会，成为IME专业观众，并携带身份证原件入场。

作为预登记观众您将优先参加所有会议及论坛。